講演情報
[22a-12G-9]パルス供給ガス拡散過程の放電プラズマ生成
〇八田 章光1、橋田 隆助1 (1.高知工科大)
キーワード：
気体放電,パルス放電,ガス拡散
放電プラズマによるプラズマプロセスの制御は、装置・容器系、電力供給系、ガス供給系によって構成され、ガス供給は反応プロセス制御の重要な要素である。ガスの挙動は拡散過程に支配されるため、ガスを意図的に、時間的や空間的に制御する方法は限定される。本研究は、パルス供給したガスが拡散して平衡圧力の均一分布になるまでの拡散過程で、ガスが空間的に偏在した状態で放電プラズマを生成し、特性を調べて新たなプロセスに応用することを目的とする。