講演情報
[22a-13M-9]レーザー加工による広帯域モスアイ反射防止構造の作製
〇(M2)小池 陸生1、川野 将太郎1、的場 みづほ1、櫻井 治之1、小西 邦昭1、三尾 典克1 (1.東大院理)
キーワード:
超短パルスレーザー加工,モスアイ構造,テラヘルツ波
反射防止技術の一つに、ピラミッド型の構造が周期的に配置されたモスアイ構造が知られている。テラヘルツ帯反射防止のためのモスアイ構造の作製は、主に超短パルスレーザー加工が用いられており、その多くは正方格子である。本研究では、格子の異なるモスアイ構造をレーザー加工によって作製し、六方格子による構造が最も広帯域な反射防止特性を有することを示した。