講演情報
[22a-P01-11]テープ剥離法とマスクレス露光法で作製されたFe(Te,Se)単結晶フレークの臨界電流特性
小阪 裕太1、〇(M1)島野 翔大1、堀川 舜平1、孫 悦2、北野 晴久1 (1.青学大理工、2.中国東南大)
キーワード:
鉄カルコゲナイド,テープ剝離,臨界電流
我々は、鉄系超伝導体Fe(Te,Se)単結晶からテープ剥離法を用いて、膜厚が数百nmの微小フレーク試料を作製し、マスクレス露光法を用いた電極作製により、ゼロ抵抗状態の観測と電流電圧測定に成功した。本講演では、膜厚200 nm以下を得るための素子作製手法やFIB加工による微小ブリッジ素子の電流電圧特性、及び面内対破壊電流密度について議論する。