講演情報
[22a-P04-19]神経科学研究への応用を目指した神経プローブのハイブリッド集積技術
〇(M1)篠原 豪太1、小田 航1、西川 敦2、Loesing Alexander2、安永 弘樹1、関口 寛人1 (1.豊橋技大、2.ALLOS)
キーワード：
半導体デバイス,マイクロLED,光遺伝学
神経活動と行動の因果関係を理解するために，実験動物が自由に行動できる状態で神経活動を操作・観察することが重要である。本研究ではLED直上に神経電極が位置するように2つのプローブを積層したマイクロLED／神経電極ハイブリッド集積プローブの実現を目指した。初めにプローブの厚さによる生体組織への損傷を抑えるため，プロセス手順を工夫することでマイクロLEDプローブの薄型化を実現した。次に2つのプローブのフリップチップ接合を行い，プローブ同士が先端から末端まで平行を保ったまま接合できることが明らかとなった。