講演情報
[22p-11F-10]UVオゾン親水化を用いたInP小片/SOIウエハ接合によるSOA集積ハイブリッド波長可変レーザ
〇井上 尚子1,2,3、平谷 拓生1,2,3、藤原 直樹1,2,3、菊地 健彦1,2,3、黒川 宗高1,2、御手洗 拓矢1,2,3、新田 俊之1,2,3、渡邉 冬馬1,2、西山 伸彦1,3、八木 英樹1,2,3 (1.PETRA、2.住友電工、3.東工大工)
キーワード：
半導体レーザ,集積デバイス,小片接合
UVオゾン親水化を用いたInP小片/Si基板接合技術により、半導体光増幅器チップ、レーザ利得チップを同時集積したハイブリッド波長可変レーザを作製したので報告する。