講演情報

16:30 〜 16:45

[22p-11F-11]薄膜LNのエッジ部へのスロープ形成

〇近藤勝利¹ (1.住友大阪セメント)

薄膜LN

SiN導波路と薄膜LNを集積させた光素子を検討している。薄膜LNのエッジ部にスロープを形成することで、SiN導波路とSiN装荷薄膜LN導波路の接続損失を0.2dB以下にすることが可能である。ウェットエッチングで、薄膜LNのエッジ部にスロープを形成することができた。