講演情報
[22p-11F-12]低損失光位相シフタに向けたSb2S3の最適成膜条件の探索
〇(B)按田 智大1、宮武 悠人1、牧野 孝太郎2、富永 淳二2、宮田 典幸2、岡野 誠2、トープラサートポン カシディット1、高木 信一1、竹中 充1 (1.東大工、2.産総研)
キーワード：
相変化材料,光位相シフタ
相変化材料を光回路における位相シフタとして応用することが近年期待されている。光損失が小さい相変化材料としてSb2S3が研究対象として注目されている。しかしながら先行研究において報告されたSb2S3の光学定数にはばらつきがあり、位相シフタとしての性能評価が不充分な状況である。そこで我々は、成膜条件とSb2S3の光学定数の関係を評価し、最適な成膜条件下でSb2S3光位相シフタの作製および評価を行ったので、その結果を報告する。