講演情報

15:00 〜 15:15

[22p-11F-6]異種材料集積光回路作製に向けたパーティクルフリーリニア型大気圧プラズマによるシリコンウェハの親水化処理

〇日原弘喜¹、古谷淳之介¹、八井田朱音²、沖野晃俊^1,2、西山伸彦^1,2,3 (1.東工大工、2.東工大科学技術創成研、3.技術研究組合光電子融合基盤技研)

大気圧プラズマ,異種材料集積