光電子制御プラズマは、放電開始トリガーの初期電子に光電子を用いることが特長である。光電子は基板に深紫外光(172 nm = 7.2 eV)を照射することにより発生させている。光電子制御プラズマは紫外光照射部位に限定されて発生するため、その放電電圧と電流密度を精密に評価できる。さらに圧力雰囲気条件を制御することにより、光電子制御プラズマは光照射範囲よりも小さく集光させて高密度化させることができる。本発表では、その機構について議論する。