2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
詳細検索

セッション詳細

一般セッション(口頭講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.1 プラズマ生成・診断

[22p-12G-1~11]8.1 プラズマ生成・診断

2024年3月22日(金) 14:15 〜 17:45
12G (1号館)
竹田 圭吾(名城大)、 鈴木 陽香(名大)、 中川 雄介(都立大)
PDFダウンロードPDFダウンロード
14:15 〜 14:45

[22p-12G-1][第45回優秀論文賞受賞記念講演] 二周波重畳容量結合型プラズマにおけるRF電極入射高エネルギー粒子の角度分布評価

市川 景太1、Chu Manh Hung1、森山 誠1、鈴木 陽香1,2、飯野 大輝3、福水 裕之3、栗原 一彰3、〇豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.名大cLPS、3.キオクシアメモリ技研)
PDFダウンロードPDFダウンロード
14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[22p-12G-2]二周波重畳容量結合型プラズマにおけるイオン角度分布のエネルギー分解計測

〇川村 隼也1、金 度漢1、鈴木 陽香1、飯野 大輝2、福水 裕之2、栗原 一彰2、豊田 浩孝1 (1.名大、2.キオクシア)
PDFダウンロードPDFダウンロード
15:00 〜 15:15

[22p-12G-3]磁化反射電界型エネルギー分析器を用いたマグネトロンスパッタリング中のイオンエネルギー分布関数測定における注意事項

〇松田 良信1、金堀 洋輔1、早川 誠一1、大島 多美子1 (1.長崎大院工)
PDFダウンロードPDFダウンロード
15:15 〜 15:30

[22p-12G-4]軸方向磁場印加ホローカソードを用いた直流放電におけるダイヤモンド電子放出層の効果とその耐久性

〇宮崎 久生1、木村 重哉1 (1.東芝研究開発センター)
PDFダウンロードPDFダウンロード
15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[22p-12G-5]光電子制御プラズマの集光機構

〇内藤 陽大1、加藤 直樹2、渡辺 貴之2、鷹林 将1 (1.有明高専、2.田辺工業(株))
PDFダウンロードPDFダウンロード
16:00 〜 16:15

[22p-12G-6]水ターゲットを利用したプラズマ熱流束計測法の提案

〇松浦 寛人1、仲野 匠1、ブイ スアンニャットソン1 (1.大阪公大)
PDFダウンロードPDFダウンロード
16:15 〜 16:30

[22p-12G-7]マッハ・ツェンダー干渉計を用いた直流グロー放電のガス温度推定

〇木村 蓮1、中川 雄介1、杤久保 文嘉1 (1.都立大システムデザイン)
PDFダウンロードPDFダウンロード
16:30 〜 16:45奨励賞エントリー

[22p-12G-8]光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたプラズマ照射下でのシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定

〇(M1)後藤 隆之介1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大先進理工)
PDFダウンロードPDFダウンロード
16:45 〜 17:00

[22p-12G-9]高速度カメラを用いた広い温度域で高精度なアーク温度計測手法

〇竹本 裕貴1、田中 学1、渡辺 隆行1 (1.九大院工)
PDFダウンロードPDFダウンロード
17:15 〜 17:30

[22p-12G-10]ラングミュアプローブ計測がプラズマ中の浮遊微粒子に与える影響

〇王 天翔1、井上 雅彦1、田口 俊弘2、小田 靖久1、高山 大輔1、廣 大輔1、朴 商云1、唐木 裕馬3 (1.摂南大学、2.日本原子力開発研究機構、3.奈良先端科学技術大学院大学)
PDFダウンロードPDFダウンロード
17:30 〜 17:45

[22p-12G-11]真空紫外吸収分光法を用いたリモートプラズマ中の水素原子の表面反応計測

〇竹田 圭吾1、増田 和史1、平松 美根男1 (1.名城大理工)
PDFダウンロードPDFダウンロード
カテゴリ一覧へ戻る