[22p-12N-1~9] 15.1 バルク結晶成長

14:30 〜 14:45

[22p-12N-3] 多結晶Siの結晶成長における界面形状が応力に与える影響

〇田近 陽輝¹、沓掛 健太朗²、小島 拓人³、劉 鑫⁴、田中 博之¹、宇佐美 徳隆^1,4,5 (1.名大院工、2.理研AIP、3.産総研、4.名大未来研、5.名大未来機構)

キーワード：

結晶成長,シリコン,応力