[22p-52A-1~17] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[22p-52A-11] 電子分光シミュレータを活用したXPS基底関数の抽出と試料構造推定

〇米田 駿一¹、村上 諒²、永田 賢二²、篠塚 寛志²、吉川 英樹²、田中 博美¹、田沼 繁夫² (1.米子高専、2.物質・材料研究機構)

キーワード：

基底学習,ワイドスペクトル,X線光電子分光

X線光電子分光(XPS)では，ワイドスペクトルを利用して，定量的な自動推定を行うことは大変困難であると考えられていた．
そこで本研究は，ワイドスペクトルから試料の膜厚構造を自動的かつ高速に定量推定する手法の開発を目的として行った．電子分光シミュレータの出力を，基底学習により数理モデルで近似する方法論を確立したことにより，計測ワイドスペクトルから膜厚の逆推定を実用時間で提供することが可能となった．