ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）は圧電性、焦電性、非線形光学性などを備える酸化物材料である。筆者らは、その圧電性に着目し、微細加工を施すことで作製される超音波トランスデューサPMUT（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer）の研究開発を行っている。
本発表では単素子（Fig. 1）あるいは複数素子を用いたPMUTデバイスに関する実験結果、応用例について述べる。