[22p-61B-1~7] 酸化物材料の圧電デバイス応用

15:50 〜 16:20

[22p-61B-5] LiNbO₃を用いた圧電MEMS超音波トランスデューサ

〇梅澤 青司¹、池内 伸介¹、會田 康弘¹ (1.村田製作所)

キーワード：

ニオブ酸リチウム,圧電,超音波

ニオブ酸リチウム（LiNbO₃）は圧電性、焦電性、非線形光学性などを備える酸化物材料である。筆者らは、その圧電性に着目し、微細加工を施すことで作製される超音波トランスデューサPMUT（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer）の研究開発を行っている。
本発表では単素子（Fig. 1）あるいは複数素子を用いたPMUTデバイスに関する実験結果、応用例について述べる。