講演情報
[22p-61B-6]BAWフィルタ応用を目指した強誘電性酸化物圧電薄膜の開発
〇柳谷 隆彦1,2,3,4 (1.早稲田大学、2.材料技術研究所、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)
キーワード：
BAWフィルタ,圧電薄膜,エピタキシャル薄膜
スパッタ法を用いたオフ角基板上へのc軸傾斜LiNbO3、PbTiO3、MgZnOのエピタキシャル成長とその圧電特性について紹介する。分極反転BAW共振子応用を目指したLiNbO3、PbTiO3、MgZnO薄膜の分極反転特性、BAW特性についても報告する。