[22p-61B-1~7] 酸化物材料の圧電デバイス応用

16:20 〜 16:50

[22p-61B-6] BAWフィルタ応用を目指した強誘電性酸化物圧電薄膜の開発

〇柳谷 隆彦^1,2,3,4 (1.早稲田大学、2.材料技術研究所、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)

キーワード：

BAWフィルタ,圧電薄膜,エピタキシャル薄膜

スパッタ法を用いたオフ角基板上へのc軸傾斜LiNbO₃、PbTiO₃、MgZnOのエピタキシャル成長とその圧電特性について紹介する。分極反転BAW共振子応用を目指したLiNbO₃、PbTiO₃、MgZnO薄膜の分極反転特性、BAW特性についても報告する。