講演情報

[22p-P03-15]パターニングマスク用いたスピンコート成膜時のペロブスカイト前駆体溶液量の検討

〇(D)齋藤 直1、戸邉 智之1,3、柴山 直之2、池上 和志1、宮坂 力2 (1.桐蔭横浜大院工、2.桐蔭横浜大医用工、3.神奈川産技総研)

キーワード:

ペロブスカイト太陽電池,パターニング,スピンコート

ペロブスカイト層の矩形パターニング法の研究を進めている。ペロブスカイト層を成膜するITO-PET基板に、矩形の穴をあけたシリコン樹脂付きPETフィルムをパターニングマスクとして貼り付けた。マスクを貼り付けた基板表面をUVオゾン処理すると、ITOの露出面と非露出面には顕著な表面の濡れ性に差を生じた。この塗れ性の差を利用することで、ペロブスカイト層の成膜における使用する前駆体使用量と変換効率への影響について検討した。