講演情報
[23a-12B-4]偏光感受型波面アナライザーの開発
〇若山 俊隆1、座間 あかね1、樋口 裕大1、髙橋 優太1、相澤 康平1、東口 武史2 (1.埼玉医科大学、2.宇都宮大学)
キーワード:
偏光感受型波面アナライザー,偏光計測,波面計測
我々は、独自技術の偏光制御マイクロリターダレンズアレイを用いて、偏光と波面の同時検出を実証してきた。しかし、光学素子の性能から計測精度に課題があった。本研究では、偏光計測の校正方法に疑似逆行列を用い、楕円率 ±0.01、方位角1.0°の計測精度が得た。波面計測は光強度の重心を考慮し、25 nmの分解能を達成した。偏光と波面の同時計測では4種類の構造光の偏光と波面の2次元分布を計測したので、これらの結果を報告する。