[23a-12E-1~13] 1.6 超音波

9:30 〜 9:45奨励賞エントリー

[23a-12E-3] 酸化物自立薄膜に対する非同期ピコ秒超音波法を用いた減衰の直接計測

〇(B)沖田 啓紀¹、長久保 白¹、荻 博次¹ (1.大阪大工)

キーワード：

酸化物薄膜,音速,音響減衰

表面弾性波フィルタの温度補償材として酸化物薄膜の音響特性は重要である。しかしそれを直接計測することは困難であり、特に減衰については基板へのエネルギロスも大きいため依然として未知のパラメータのままである。本研究では自立酸化物薄膜に対して非同期ピコ秒超音波法による音速および音響減衰の直接計測に成功した。この手法は今後様々な誘電体薄膜の音響ロスを含めた特性を評価することに大きく貢献する．