講演情報
[23a-12E-5]RFスパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3膜の圧電薄膜共振子への適用に関する検討
〇中山 雄太1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大)
キーワード：
ニオブ酸カリウムナトリウム,バルク弾性波
弾性波フィルタには，大きな圧電性と高い位相速度を有する圧電材料が要求されている．高周波(RF)スパッタリングにより成膜された(K,Na)NbO3(KNN)膜は，鉛系圧電膜に匹敵する優れた圧電性を示すことから，その応用が研究されている．本報では，RFスパッタリングにより成膜したKNN膜を用いて圧電薄膜共振子(FBAR)を作製し，アドミタンス特性を測定した．その結果，1 GHz付近と4 GHz付近に圧電応答を観測し，KNN膜のFBARへの適用可能性を明らかにした．