講演情報
[23a-12E-6]連続成膜による2層分極反転SiAlN薄膜BAW共振子の形成・評価
〇福永 慶1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大学)
キーワード：
バルク波,AlN薄膜
本研究では成膜プロセスを簡略化し，酸化膜の影響を受けない分極反転構造薄膜BAW共振子を作製するため，SiAlN薄膜の極性を制御し，基板付き2層分極反転構造SiAlN薄膜BAW共振子を連続成膜で作製し，評価した．その結果，連続成膜により形成した2層分極反転構造SiAlN薄膜BAW共振子は極性を引き継いでしまい，その引き継ぎを考慮して成膜時間を設定すれば2次モード共振を達成できることが判明した．