[23a-12H-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

9:00 〜 9:15

[23a-12H-1] ゾルゲル法によるエピタキシャルPb(Zr,Ti)O₃多層構造薄膜の圧電特性

〇笠谷 厚太¹、權 相曉¹、神野 伊策¹ (1.神戸大工)

キーワード：

PZT薄膜,ゾルゲル法,多層構造