[23a-13M-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

11:15 〜 11:30

[23a-13M-9] 超短パルスレーザー照射によるSnCu固溶体中間相の生成

〇関 宏都¹、古市 健人¹、高林 圭佑^2,3、土屋 叡本²、山口 誠³、岡田 達也¹、小林 洋平²、富田 卓朗¹ (1.徳島大院創成、2.東大物性研、3.秋田大理工)

キーワード：

超短パルスレーザー,SnCu固溶体

我々はこれまでに、透明な材料であるワイドバンドギャップ半導体へ金属材料を蒸着した上でのワイドバンドギャップ半導体側からのフェムト秒レーザー光照射が金属材料の飛散を抑え、高温高圧場を閉じ込める役目を果たすことに着目し、新奇金属合金の形成を目指して研究を行っている。今回は Sn/Cu 薄膜に対し、パルス時間幅及びフルエンスを変更させレーザー照射を行い、断面をTEM観察することで金属薄膜の調査をした。