講演情報
[23a-1BL-8]サンプル表面のレーザー生成超音波の光干渉計測
〇(M1)小松 宗太郎1、早崎 芳夫1 (1.宇都宮大学オプティクス)
キーワード：
干渉計測,超音波
加工状態の観測にレーザー加工の際に発生する超音波を用いるため、超音波を計測するための光干渉計測方法を提案する。計測方法を説明する。超音波が伝播するサンプルの表面に、回折格子によって2つに分割された振動検出用レーザーを集光照射し、2点と加工点の距離の差から計測する。この光干渉計はレーザーが同軸上にあるため、振動に強い構造である。