講演情報
[23a-1BL-9]ホログラフィックレーザー加工における光干渉計を用いた オンマシン計測
〇(M1)梅津 廉1 (1.宇都宮大学)
キーワード：
光干渉計,フェムト秒レーザー
超短パルスレーザーによる材料アブレーションは，種々の材料の精密微細加工を可能にし，電子部 品や機械部品，自動車用部品，医療機器を含む様々な用途に利用されている，そのため，超短パルスレ ーザーアブレーションは，将来のモノづくりのマスカスタマイゼーションにおいて，重要な役割を果 たすと期待されている．波長，パルス幅，パルスエネルギー，パルス繰り返し周波数，パルス照射数を 含む様々なレーザー照射条件が加工に影響を与えることが知られている．一般に，目的の加工を得る ために必要となる最適なレーザー照射条件を見つけるには，熟練したオペレーターによる試行錯誤の 繰り返し実験が必要となる。本研究では，レーザー照射条件の効率的な探索を目的として，超短パルス レーザーにより加工された構造の光干渉計によるオンマシン計測を行った．