講演情報
[23a-31A-4]ミスト化学蒸着法による導電性TiO2薄膜の作製と燃料電池セパレータ表面処理への応用
〇簾 智仁1、Xu Han2、上田 礼一1、三浦 弓恵1、清水 亮太1、中山 亮1、金子 健太郎3、山田 直臣4、一杉 太郎1 (1.東京大学、2.東京工業大学、3.立命館大学、4.中部大学)
キーワード：
導電性チタニア,接触抵抗,燃料電池
アナターゼ型Ti1−xNbxO2 (TNO)は、低い電気抵抗率(300 Kで2.3×10−4 Ωcm)と高い化学的安定性をもつ。これらの特性は、固体高分子膜型燃料電池(PEMFC)用のステンレス鋼セパレータの表面コーティング材料に求められる性能を満足する。そこで、本研究では、ミスト化学蒸着(ミストCVD)法を用いてTNO薄膜をガラス基板上に作製し、高い導電性を発現する成膜条件を検討した。特に、成膜温度とポストデポジションアニール温度に着目した。その後、ステンレス鋼基板へTNOを成膜し、PEMFCセパレータの表面処理材料としての応用可能性を検討した。