講演情報
[23p-12A-1]ラインディジタルホログラフィを用いた形状計測
〇(B)佐藤 悠真1、早崎 芳夫1 (1.宇都宮大オプティクス)
キーワード：
ディジタルホログラフィ
半導体部品の高精度な検査が求められる中、ディジタルホログラフィ（DH）は半導体パッケージの計測に適している。DHは高い分解能を持ち、入力画像を1次元にすることで計測スピードを向上させる手法を提案する。コンベア上に配置された検査対象が1軸方向に等速で移動する状況を想定し、構築したラインディジタルホログラフィの性能評価を述べる。