講演情報
[23p-12B-1]ガラス界面での全反射条件下における径偏光ビームの軸方向電場の増強とレーザー微細加工応用
津留 志音1,2、〇小澤 祐市1、上杉 祐貴1、佐藤 俊一1 (1.東北大多元研、2.東北大院工)
キーワード：
径偏光,ベクトルビーム,レーザー加工
本講演では、径偏光ビームに対して円環状の振幅マスクを導入し、径偏光ビームの集光角を変化させた場合の、ガラス底面に形成する径偏光ビームの集光スポットサイズと軸方向電場の強度について詳細に検討する。さらに、このような条件でアブレーション加工を行った結果との関係性についても議論する。