講演情報
[23p-12G-10]集束ヘリウムイオンビームによるグラフェン加工
〇櫻井 亮1、岡野 彩子2、ヨアキム クリスチャン1,3 (1.物質材料研究機構 MANA、2.筑波大学、3.CEMES-CNRS)
キーワード：
集束ヘリウムイオンビーム,グラフェン,分子機械
ナノスケールの固体部品を組み合わせた分子機械の作製と動作のダイナミクスを解明する研究を続けている。部品を２次元物質から削り出すために集束ヘリウムイオンビームを利用している。このビームは試料の表面を汚すことなく高い精度の加工ができる。このビームを使ってグラフェンシートを削る際に、ヘリウムイオンの衝突に伴って生じる熱による変形などの影響を原子間力顕微鏡や透過型電子顕微鏡を用いて調べた結果を報告する。