講演情報
[23p-12H-6]PBW による強誘電体材料加工が基板に及ぼす影響
〇平出 惇1、山口 正樹1,2、木村 秀夫3 (1.芝浦工大工、2.芝浦工大IRCGE、3.煙台大)
キーワード：
強誘電体材料,微細加工技術,プロトン照射の影響
集束プロトンビームを用いた微細加工技術は，次世代の露光光源のひとつとして注目をされている．これまで行ってきた検討から，照射プロトンは照射試料内に残存することが分かっており，素子動作への悪影響が懸念される．そこで我々は，プロトン照射が基板に及ぼす影響について調査した．