講演情報
[23p-12H-7]薄膜強誘電体の電気熱量効果の直接測定
〇宇佐美 潤1、岡本 有貴1、小林 健1、山田 浩之1 (1.産総研)
キーワード：
強誘電,電気熱量効果
強誘電体が示す、電場の印加・除去で誘電体の温度が可逆的に変化する電気熱量効果は電力効率の高い冷却技術としての応用が期待される。薄膜強誘電体で大きな電気熱量効果よる温度変化の報告があるものの、基板に対して極めて熱容量が小さいためにその直接測定は困難である。ほとんどの場合は間接的に測定されており、正しい評価がされていない課題がある。誘電体のごく近傍に温度センサを設置することで、薄膜強誘電体の電気熱量効果の直接を目指している。