[23p-12H-1~11] 6.1 強誘電体薄膜

15:45 〜 16:00奨励賞エントリー

[23p-12H-9] 局所C-Vマッピングと圧電応答顕微鏡の統合計測システムの開発

〇(M1)野口 雄貴¹、三村 和仙²、清水 荘雄²、舟窪 浩²、平永 良臣¹ (1.東北大、2.東工大)

キーワード：

統合計測システム,強誘電体

走査型非線形誘電率顕微鏡(SNDM)をベースとした局所C-Vマッピング法と圧電応答顕微鏡(PFM)を組み合わせ, 強誘電体の静的なドメイン構造と動的な分極反転挙動の分布を同視野で観察することにより, 単一の計測では得られない様々な情報が取得可能になると期待できる。本研究では, PFMと局所C-Vマッピング法の統合計測システムを開発し, それぞれの計測モードで, 同一の強誘電体サンプルの観察を行った。