[23p-12J-1~10] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

13:30 〜 13:45

[23p-12J-1] 第15回シリコンテクノロジー分科会論文賞・研究奨励賞授賞式

〇井田 次郎^1,2 (1.シリコンテクノロジー分科会幹事長、2.金沢工業大学)

キーワード：

シリコンテクノロジー