[23p-12K-1~15] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

16:45 〜 17:00奨励賞エントリー

[23p-12K-11] ガラス基板上の縦型４端子poly-Si 薄膜トランジスタ

〇(M1)鈴木 康聖¹、楠 浩太朗¹、原 明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：

薄膜トランジスタ,多結晶シリコン,縦型TFT