セッション詳細
[23p-12K-1~15]13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2024年3月23日(土) 13:30 〜 18:00
12K (1号館)
森田 行則(産総研)、 葉 文昌(島根大)、 岡田 竜弥(琉球大)
[23p-12K-1][第45回優秀論文賞受賞記念講演] SiO2で挟まれたSi薄膜の横方向結晶成長における安定{001}<100>方向への結晶方位の回転傾向
〇葉 文昌1、白川 俊樹、ファム ホァン アン1 (1.島根大学)
[23p-12K-2]ヘリウムイオン顕微鏡技術による極薄シリコンナノシートへの直接ナノ加工
〇森田 行則1、井上 憲介2、杉江 隆一2、小川 真一1 (1.産総研、2.東レリサーチセンター)
[23p-12K-5]Si 薄膜のレーザ結晶化における線状 Agglomeration (IV)
〇佐々木 伸夫1、高山 智之2、笹井 陸杜2、浦岡 行治2 (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大)
[23p-12K-7]印刷とパルスレーザーアニールによるSi基板上へのSiGe薄膜成長
〇佐藤 剛志1、宮本 聡1、鈴木 紹太2、南山 偉明2、ダムリン マルワン2,3、宇佐美 徳隆1,4,5 (1.名大院工、2.東洋アルミ、3.阪大院工、4.名大未来機構、5.名大未材研)
[23p-12K-8]印刷とパルスレーザーアニールによるGe基板上へのGeSn薄膜成長
〇佐藤 剛志1、宮本 聡1、鈴木 紹太2、南山 偉明2、ダムリン マルワン2,3、宇佐美 徳隆1,4,5 (1.名大院工、2.東洋アルミ、3.阪大院工、4.名大未来機構、5.名大未材研)
[23p-12K-12]ガラス基板上LSIに向けた異種半導体Complementary TFTの開発
〇(M1)伊藤 悠人1、永吉 輝央1、鈴木 翔1、原 明人1 (1.東北学院大工)
[23p-12K-13]プラスチック上のダブルゲート p-ch Cu-MIC poly-Ge TFT および CMOS インバータ実現可能性の検討
〇(B)栗原 義人1、鈴木 翔1、土屋 俊之2、奥山 哲雄2、原 明人1 (1.東北学院大学、2.東洋紡(株))
[23p-12K-15]Neを用いてスパッタ成膜したガラス上InSb膜の RTA結晶化における膜厚効果
上間 亮ノ佑1、奥 翔太1、野口 隆1、梶原 隆司2、佐道 泰造2、〇岡田 竜弥1 (1.琉大工、2.九州大)