講演情報

[23p-12K-8]印刷とパルスレーザーアニールによるGe基板上へのGeSn薄膜成長

〇佐藤 剛志1、宮本 聡1、鈴木 紹太2、南山 偉明2、ダムリン マルワン2,3、宇佐美 徳隆1,4,5 (1.名大院工、2.東洋アルミ、3.阪大院工、4.名大未来機構、5.名大未材研)

キーワード:

レーザーアニール,ゲルマニウムスズ,結晶成長