講演情報
[23p-12N-8]プルーム画像からのプロセス条件推定の精度向上のための画像位置合わせに関する考察
〇堀尾 恵一1,5、山崎 春太朗2、一野 祐亮3,5、一瀬 中4,5、堀出 朋哉2,5、松本 要2,5、吉田 隆2,5 (1.九工大、2.名大、3.愛工大、4.電中研、5.JST-CREST)
キーワード：
薄膜生成,プルーム画像,プロセス条件推定
薄膜生成時のプルーム画像からプロセス条件を推定するに際し、画像内のプルーム領域を安定して抽出する必要がある。カメラ位置の変更があった場合にプルーム領域を適切に抽出するために、画像の位置合わせが必要である。本稿では、各種画像位置合わせ手法とプロセス条件の推定結果について報告する。