講演情報

[23p-12P-6]Si MOSFETにおける埋込みナノ構造に対する感度の改善

〇(M1)呂 任翔1、三ツ谷 拓真1、葛西 誠也1 (1.北大 量集センター)

キーワード:

半導体デバイス,ランダムナノ構造,人工物メトリクス