講演情報
[23p-13M-10]GHzバーストモードフェムト秒レーザーパルスを用いたLIPAAによるサファイアの高品質微細穴加工
〇小幡 孝太郎1、川端 祥太1,2、花田 修賢3、宮地 悟代2、杉岡 幸次1 (1.理研 光量子、2.東京農工大、3.弘前大理工)
キーワード：
GHzバーストモード,フェムト秒レーザー,LIPAA
GHzバーストモードフェムト秒レーザー（GHzバーストパルス）は、数百psという極めて短い時間間隔で数〜数十個のフェムト秒パルス（イントラパルス）の列を発振するため、従来のフェムト秒レーザー照射（シングルパルスモード）と比較して、材料加工において高性能な加工特性を示す。本研究では、GHzバーストパルスを用いた単結晶サファイア基板のLIPAA加工において、加工形状、加工深さなどの詳細な加工特性を検討した。