2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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16:30 〜 16:45

[23p-13M-12]フェムト秒レーザーによるポリイミドの微細加工に関する研究

〇植松 昌揮1、ミゼイキス ビガンタス1,2、ヨードカシス サウリウス3、森川 淳子4 (1.静岡大、2.電子工学研、3.スウィンバーン工科大、4.東工大)

キーワード：

ポリマーのレーザー加工,ポリイミド,レーザー誘起炭化

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