[23p-13M-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

16:30 〜 16:45

[23p-13M-12] フェムト秒レーザーによるポリイミドの微細加工に関する研究

〇植松 昌揮¹、ミゼイキス ビガンタス^1,2、ヨードカシス サウリウス³、森川 淳子⁴ (1.静岡大、2.電子工学研、3.スウィンバーン工科大、4.東工大)

キーワード：

ポリマーのレーザー加工,ポリイミド,レーザー誘起炭化