講演情報

15:45 〜 16:00

[23p-13M-9]ナノ周期構造形成のレーザー照射条件を決定する深層学習モデル

〇(M1)増田諒太¹、早崎芳夫¹、長谷川智士¹ (1.宇都宮大学オプティクス教育センター)

ナノ周期構造,深層学習

本研究では、選択されたレーザー照射条件に対応するシリコン基板上のナノ周期構造の走査型電子顕微鏡(SEM)画像を予測する深層学習モデルを構築した。この学習モデルにより、加工前にナノ周期構造を推定することが可能となり、レーザー照射条件の迅速な最適化に役立つ。