本講演では、光起電力計測が可能な光援用ケルビン・プローブ・フォース顕微鏡や光誘起による試料熱膨張量の計測を実現する光熱モード原子間力顕微鏡について、微結晶系であるCu(In,Ga)(S,Se)₂太陽電池材料の評価に応用した例を通じて紹介する。