講演情報

[23p-31B-14]層状ヒ化ゲルマニウム膜の酸化による膜厚制御

〇蓮見 歩太1、浦上 法之1,2、橋本 佳男1,2 (1.信州大工、2.信州大 先鋭材料研)

キーワード:

ヒ化ゲルマニウム