[23p-32A-6~17] 17.1 カーボンナノチューブ，他のナノカーボン材料

14:15 〜 14:30

[23p-32A-6] カーボンナノチューブを用いたマイクロボロメータ型赤外線検出器

〇田中 朋^1,2、佐野 雅彦¹、野口 将高^1,2、宮崎 孝^1,2、金折 恵²、宮本 俊江^1,2、小田 直樹¹、弓削 亮太^1,2 (1.日本電気、2.産総研)

キーワード：

赤外線検出器,カーボンナノチューブ,MEMS