[23p-52A-1~18] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

13:45 〜 14:00

[23p-52A-4] 4H-SiC自立エピ層に対する全方位フォトルミネッセンス評価

〇牧野 隼宜¹、鈴木 健吾²、加藤 正史¹ (1.名工大院工、2.浜松ホトニクス株式会社)

キーワード：

全方位フォトルミネッセンス