講演情報
[23p-71A-8]プラズモニックプラズマプロセスによるシリコンのラジカル窒化での波長作用
〇北嶋 武1、三宅 万智子1、中野 俊樹1 (1.防大電気)
キーワード：
プラズマ,プラズモン,絶縁膜
我々は金ナノ粒子プラズモンをプラズマプロセスに活用した薄膜形成手法を開発し、金ナノ粒子から供給されるホットエレクトロンが良質な極薄膜形成を実現することを示してきた。今回はプラズモン励起用光波長の作用に注目し、緑色光励起での良質膜形成と青色光励起でのダメージ形成を報告する
プラズマ,プラズモン,絶縁膜