高周波プラズマによりCO₂ガスから分解されるCOの生成率を調べた。SUSフランジで両端を密閉したガラス管を真空にし、CO₂ガスを流入させた。8～150Paの圧力下、13.56MHzの高周波電源を用い、100Wで放電させた。生成したCO成分を四重極型質量分析計で測定した。同様に水素（CO₂：H₂＝1：5）を混合してメタンの生成も調べた。その結果、COへの生成率は圧力が高くなるにつれて低下した。また、水素の混合によるメタンの生成は確認されなかった。