講演情報
[23p-P05-51]高周波真空プラズマによる二酸化炭素の分解
〇(M1)落合 孝大郎1,2、大川 博司1 (1.HSU未来産業学部、2.(株)塚本)
キーワード：
二酸化炭素,メタネーション
高周波プラズマによりCO₂ガスから分解されるCOの生成率を調べた。SUSフランジで両端を密閉したガラス管を真空にし、CO₂ガスを流入させた。8～150Paの圧力下、13.56MHzの高周波電源を用い、100Wで放電させた。生成したCO成分を四重極型質量分析計で測定した。同様に水素（CO₂：H₂＝1：5）を混合してメタンの生成も調べた。その結果、COへの生成率は圧力が高くなるにつれて低下した。また、水素の混合によるメタンの生成は確認されなかった。