2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
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10:00 〜 10:15

[24a-12B-5]自己組織化エレクトレット形成のための微細キャビティ構造を有するMEMS環境振動発電素子に関する研究

〇砂川 優一朗1、角野 響一1、細井 覚1、李 睿宸1、杉本 澪貴1、神宮 彩人2、伊藤 蒼生2、田中 有弥2、山根 大輔1 (1.立命館大、2.群馬大)

キーワード：

振動発電素子,自己組織化エレクトレット,微細キャビティ

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