[24a-12B-1~12] CS.10 16.2 エナジーハーベスティング、KS.3 半導体グリーンファブ研究会のコードシェアセッション

10:00 〜 10:15

[24a-12B-5] 自己組織化エレクトレット形成のための微細キャビティ構造を有するMEMS環境振動発電素子に関する研究

〇砂川 優一朗¹、角野 響一¹、細井 覚¹、李 睿宸¹、杉本 澪貴¹、神宮 彩人²、伊藤 蒼生²、田中 有弥²、山根 大輔¹ (1.立命館大、2.群馬大)

キーワード：

振動発電素子,自己組織化エレクトレット,微細キャビティ