講演情報
[24a-12C-6]ガラス高周波フィルタ基板の亀裂抑制
〇高田 健央1、中村 司1、澤田石 将士1、小林 茜1、梅村 優樹1 (1.TOPPANホールディングス)
キーワード：
ガラス,亀裂,高周波フィルタ
ガラスは優れた物性値を有していることから、次世代の基板の材料として注目を集めており、特に無線通信などの用途での利用が期待されている。しかし、ガラスは脆性材料であるため、微小なクラックを起点として亀裂が発生しやすい。上記亀裂を抑制するために、個片化時にガラスを直接切断しない構造を形成する対策を行った。さらに、対策構造を用いて高周波フィルタ基板を開発した結果を報告する。