[24a-12H-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

9:00 〜 9:15奨励賞エントリー

[24a-12H-1] 純AlN薄膜SMRのk_t²ヒステリシス特性

〇花井 彩香^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)

キーワード：

強誘電体,純窒化アルミ