講演情報
[24a-1BM-3]One-piece ITO-TFTの急峻なサブスレッショルドスロープに基づく超高感度バイオセンシング
〇(M2)片山 律1、坂田 利弥1 (1.東大院工)
キーワード:
酸化インジウムスズ,バイオセンサ,薄膜トランジスタ
100nmの導電性ITO薄膜の一部をエッチング処理して半導体特性を示すように20nm程度まで薄くすることで、ひとつながりのITOからなる溶液ゲートITO-TFTが簡単に作製でき、これは熱力学的上限に近い急峻なサブスレッショルドスロープを示す。本研究では、急峻なサブスレッショルドスロープを活用した高感度なバイオセンシングを、DNA分子をモデルとした生体分子測定により試みた。