講演情報

[24a-21C-2]高温 AlGaN 成長における供給 Al/Ga モル比と AlN モル分率の関係

〇(B)松原 優翔1、富田 敦之1、藤井 滉樹1、髙柳 祐介1、髙島 祐介1,2、直井 美貴1,2、永松 謙太郎1,2 (1.徳島大理工、2.徳島大ポストLEDフォトニクス研究所)

キーワード:

AlGaN,MOVPE